21世纪经济报道记者 张赛男 上海报道

8月22日晚间，半导体设备龙头中微公司（688012.SH）发布今年上半年业绩。财报显示，公司实现营业收入34.48亿元，同比增长36.46%；实现归母净利润为5.17亿元，较上年同期下降约4.86亿元，同比减少约48.48%。

已保持业绩多年快速增长的半导体设备龙头，因何出现净利润下滑？

公司解释称，主要由于2023年公司出售了持有的部分拓荆科技股份有限公司股票，产生税后净收益约4.06亿元，而2024年公司并无该项股权处置收益。

不过，中微公司上半年扣非后净利润为4.83亿元，同比仍是下滑状态，下降幅度是6.88%。对于此项指标下降，公司表示是由于显著加大研发力度，以尽快补短板，实现赶超。据中报披露，中微公司目前在研项目涵盖六类设备，20多个新设备的开发，2024年上半年公司研发投入9.70亿元，同比大幅增长110.84%，也就是说研发费用同比翻倍。

中微公司主营业务为半导体等离子刻蚀设备和用于LED的金属气相沉积设备（MOCVD），具体来看，上半年公司等离子体刻蚀设备收入为26.98亿元，同比增长约56.68%，占营业收入的比重由上年同期的68.16%提升至本期的78.26%。

中微公司表示，等离子体刻蚀设备在国内外持续获得更多客户的认可，针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，CCP和ICP刻蚀设备的销售增长和在国内主要客户芯片生产线上市占率均大幅提升。

另一项业务有所下滑，上半年，公司MOCVD设备收入1.52亿元，较上年同期减少约49.04%，其解释是因为公司在蓝绿光LED生产线和Mini-LED产业化中保持绝对领先的地位，该终端市场近两年处于下降趋势。记者注意到，去年该业务收入也出现下滑。

对此，中微公司表示，已紧跟MOCVD市场发展机遇，积极布局用于碳化硅和氮化钾基功率器件应用的市场，并在Micro-LED和其他显示领域的专用MOCVD设备开发上取得良好进展，已付运和将付运几种MOCVD新产品进入市场。此外，本期公司新产品LPCVD设备实现首台销售，收入0.28亿元。

在新增订单方面，上半年公司新增订单47.0亿元，同比增长约40.3%，其中等离子体刻蚀设备新增订单39.4亿元，同比增长约50.7%，最近两年新开发的LPCVD设备上半年新增订单1.68亿元，新产品开始启动放量。上半年，公司共生产设备833腔，同比增长约420%，对应产值约68.65亿元。

在中报中，公司还披露了中长期愿景。其称，中微的主打产品等离子体刻蚀设备是除光刻机以外最关键的微观加工设备，占半导体前道设备总市场约22%。公司布局的薄膜设备（主要是化学薄膜和外延设备）是除光刻机和刻蚀机外第三大设备市场。此外，中微公司全面布局第四大设备市场——检测设备。预计未来五到十年，中微公司将通过自主研发以及携手行业合作伙伴，覆盖集成电路关键领域50%至60%的设备。

今年8月，中微公司宣布启用其位于上海临港的产业化基地，该基地将成为中微公司重要的生产基地，据介绍，该基地占地约157亩、总建筑面积约18万平方米，配备实验室、洁净室、生产车间及智能化立体仓库等设施，可实现生产全程数字化、智能化管理。目前，位于滴水湖畔的中微临港总部暨研发大楼也正在建设中，建成后占地面积约10万平方米。未来，中微公司的生产和研发基地总面积将达到约45万平方米。

（编辑：骆一帆）